A.20~30 B.40~50 C.60~80 D.80~100
单项选择题质流控制器的作用是控制（）。
A.制程气体流量 B.膜厚 C.膜的透光率 D.膜的硬度
单项选择题对膜材的（）是离子镀膜的两个不可缺少的环节。
A.溅射和离化 B.蒸发和溅射 C.蒸发和离化 D.烘干和离化
