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单项选择题

CMP技术所采用的设备有抛光机、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等,其中()是最重要的设备。

A、后CMP清洗设备
B、抛光机
C、抛光终点检测及工艺控制设备
D、废物处理和检测设备