A.金刚石膜 B.类金刚石膜 C.石墨 D.仿金膜
单项选择题溅射粒子入射角爲（）°时溅射率最大。
A.20~30 B.40~50 C.60~80 D.80~100
单项选择题质流控制器的作用是控制（）。
A.制程气体流量 B.膜厚 C.膜的透光率 D.膜的硬度
